结构特点：

• 适用于高纯应用
• FSR，NPT，GENLOK 连接
• 内部无弹簧设计
• 膜片式硬密封，泄漏率低
• 高寿命
• 100%氦气测试

材质：

• 母体：316L
• 阀座：PCTFE
• 膜片：Elgiloy^®

功能特性：

• 流量：Cv=0.2
• 母体泄漏率：1×10^-9 atm cc/sec He
• 阀座泄漏率：4×10^-9 atm cc/sec He
• 设计验证：最大工作压力的150%
• 设计爆破：最大工作压力的400%

工作条件：

• 最大工作压力：300 psi (20 bar)
• 最小工作压力：真空
• 温度：-40℃~65℃ (40°F~150°F)

气体执行器：

• 操作压力：70~125 psi
• 入口连接：1/8" NPT(F)
• 工作状态：常闭、常开

表面加工：

• 标准 Ra 20µin

安装尺寸图：