结构特点：

• 316L不锈钢母体
• 膜片式硬密封，泄漏率低
• 可采用面板安装和后座安装
• 压力表标准连接：1/4" FRS(M), 可选1/4" FRS(F)
• 内部电解抛光
• 高洁净的组装和包装适用于高洁净度的半导体行业
• 使用寿命长
• 100%氦气测试

材质：

• 母体：316L, Hastelloy^®
• 阀座：PCTFE
• 膜片：Elgiloy^®, Hastelloy^®
• 上盖：316, Hastelloy^®

功能特性：

• 流量：Cv=0.054
• 母体泄漏率：2×10^-8 atm cc/sec He
• 阀座泄漏率：4×10^-8 atm cc/sec He
• 设计验证压力：最大额定压力的150%
• 设计爆破压力：最大额定压力的400%

工作条件：

• 最大的入口压力：300 psi (20 bar)
• 出口压力：0~30 psi (2 bar),
• 温度：-18℃~60℃ (0°F~140°F)

流道表面：

• 标准：Ra 20µin
• 可选：Ra 10µin

内部容积：

• 9.3 cc

流量特性曲线：