结构特点：

• 316L不锈钢母体
• 膜片式硬密封，泄漏率低
• 可采用面板安装和后座安装
• 压力表标准连接：1/4" FRS(M), 可选1/4" FRS(F)
• 内部电解抛光
• 高洁净的组装和包装适用于高洁净度的半导体行业
• 使用寿命长
• 100%氦气测试

材质：

• 母体：316L
• 阀座：PCTFE, Vespel^®
• 膜片：316L
• 上盖：316

功能特性：

• 流量：Cv=1.8
• 母体泄漏率：2×10^-8 atm cc/sec He
• 阀座泄漏率：4×10^-8 atm cc/sec He
• 设计验证压力：最大额定压力的150%
• 设计爆破压力：最大额定压力的400%

工作条件：

• 最大的入口压力：500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
• 出口压力：0~25 psi (1.7 bar),0~50 psi (3bar), 0~100 psi (7 bar),0~250 psi (17 bar)
• 温度：-40℃~74℃ (-40°F~165°F)

流道表面：

• 标准：Ra 20µin
• 可选：Ra 10µin

内部容积：

• 59.9 cc

安装尺寸图：

EX:	U23	SL	B	K	- D	H	P -	95 - 95	- P
	型号	母体	母体孔	阀座	输入压力	输出压力	压力表	出气/出气连接	选项
	U23	SL: 316L	A	K: PCTFE	D: 3000 psi	H: 0-150 psi	W: 不带压力表	95: 1/2” FSR(F)	E: Ra 10 μin
			B	V: Vespel®	F: 500 psi	I: 0~100 psi	P: psi / bar 表	96: 1/2” FSR(M)	P: 面板安装
			G			K: 0~50 psi			H: Hastelloy®膜片
			J			L: 0~25 psi
			M

流量特性曲线：

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